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SEM知识点扫盲十一

2018.7.26

 34. 阴极发光(Cathodoluminescence):当电子束产生之电子-空位对再结合时,会放出各种波长电磁波,此为阴极发光(CL),不同材料发出不同颜色之光。


  35. 样品电流(Specimen Current):电子束射到样品上时,一部份产生二次电子及背向散射电子,另一部份则留在样品里,当样品接地时即产生样品电流。


  36. 电子侦测器有两种,一种是闪烁计数器侦测器(Scintillator),常用于侦测能量较低的二次电子,另一种是固态侦测器(solid state detector),则用于侦测能量较高的反射电子。


  37. 影响电子显微镜影像品质的因素:

  A. 电子枪的种类:使用场发射、LaB6或钨丝的电子枪。

  B. 电磁透镜的完美度。

  C. 电磁透镜的型式: In-lens ,semi in-lens, off-lens

  D. 样品室的洁净度: 避免粉尘、水气、油气等污染。

  E. 操作条件: 加速电压、工作电流、仪器调整、样品处理、真空度。

  F. 环境因素: 振动、磁场、噪音、接地。


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