Subnano3D干涉轮廓仪的优点
Subnano3D干涉轮廓仪建立在移相干涉测量(PSI)、白光垂直扫描干涉测量(VSI)和单色光垂直扫描干涉测量(CSI)等技术的基础上，以其纳米级测量准确度和重复性(稳定性)定量地反映出被测件的表面粗糙度、表面轮廓、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征等。广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域。
Subnano3D干涉轮廓仪产品优点：
1、美国硅谷研发的核心技术和系统软件。
2、关键硬件采用美国、德国、日本等知名品牌。
3、PI纳米移动平台及控制系统。
4、Nikon干涉物镜。
5、NI信号控制板和Labview64 控制软件。
6、TMC光学隔振台。
7、测量准确度重复性达到不错的水平(中国计量科学研究院证书)。
推荐
