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SEM vs TEM:操作上的差异

2022.5.05

 

这两种电子显微镜系统在操作方式上也有所不同。 扫描电镜(SEM)通常使用15kV以上的加速电压,而透射电镜(TEM)可以将其设置在60-300kV的范围内。  


与扫描电镜(SEM)相比,透射电镜(TEM)提供的放大倍数也相当高:透射电镜(TEM)可以将样品放大5000万倍以上,而对于扫描电镜(SEM)来说,限制在1-2百万倍之间。  


然而,扫描电镜(SEM)可以实现的最大视场(FOV)远大于透射电镜(TEM),用户可以只对样品的一小部分进行成像。 同样,扫描电镜(SEM)系统的景深也远高于透射电镜(TEM)系统。

 

 

表I:扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)之间主要差异的总结

 

一般来说,透射电镜(TEM)的操作更为复杂。 透射电镜(TEM)的用户需要经过强化培训才能操作设备。 在每次使用之前需要执行特殊程序,包括几个步骤以确保电子束完美对中。 在表I中,您可以看到扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)之间主要区别的总结。

 

 

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