微流红外传感器技术的工作原理
红外光源
①、发出的红外光,经过切光器。
②、调制频率后,进入测量气室。
③、由于二氧化硫等异种原子构成的分子对红外光具有吸收特性,若测量气室。
④、中存在上述气体,则进入测量气室的部分红外光会被吸收,未被吸收的红外光进入检测器。
⑤、检测器由前气室、后气室、微流传感器。
⑥、组成,前、后气室充满待测组分的气体。在红外光的作用下,检测器前、后气室中的气体发生膨胀;由于存在膨胀差异,会导致前、后气室之间产生微小的流量;微流传感器⑥检测到该流量后,产生交流电压信号,信号经处理后得到气体的浓度。
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