激光准直仪与干涉仪的区别
准直仪测量的是直线度，也就是目标的移动轨迹，如果是线激光+PSD原理的，精度跟重复性都可以达到0.001mm级别。
激光干涉仪主要是用来测量目标的定位精度的，也就是说测量目标的实际移动距离与控制系统的指令是否吻合，这个精度可以达到纳米的级别。如果是双频的，而且频率相差得比较大，比如7M以上的，两种波长激光的测量结果可以相互补偿，精度更高。
激光干涉仪也有测量轨迹，直线度的功能，但是由于测量原理的限制，精度只能勉强达到0.01mm。
所以安装导轨，测量孔心同心，等等跟直线度有关的测量，使用线激光+PSD准直仪，非常可靠。干涉仪仅仅适用于传动系统的定位精度测量，在直线度，平面度测量方面，要增加很多镜组，软件，调光路也很费时间，得不偿失。
另：按照ISO 230-6的标准，对于数控设备联动测量，校准的轨迹应该是空间的体对角线，将干涉仪（测量Z轴）与准直仪（测量X,Y轴）配合使用，能取得更好的效果，校准行程很长。
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