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优质扫描电子像的获得

2018.6.27

优质扫描电子像的获得

前提

    这里只讨论扫描电镜是处于正常工作状态下如何改善扫描电子像的质量。所谓扫描电镜处在正常工作状态下是指:①镜筒足够清洁;②电子将系统的安装和调节无误;③镜筒各部分准确合轴对中,使能进行高倍(十万倍左右)聚焦;④电噪音足够小。

图像所要求的最低分辨率的确定  

 仪器工作状态的分辨率越高,二次电子像也越清晰,但在一定放大倍数下,在图像上实际能分开最近两点的能力受人肉眼分辨能力的限制,故过高的仪器分辨率的工作状态不一定是必要的。如果实际观察的放大倍数不高,则为了保证有足够大的信噪比,有时宁愿采取较低仪器分辨率的工作状态,反而会改善图像的清晰度。


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