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炉内气氛对硅碳棒的影响

2021.2.02

炉内气氛对硅碳棒的影响:

1、水蒸气的影响:水蒸气(H2O)在1100℃时与SiC发生强烈化学反应,生成Si、SiO2和C。硅碳棒表面出现裂纹,电阻增长速度很快。

2、二氧化硫(SO2)的影响:SO2在1300℃与SiC反应,故使用温度应控制在1300℃以下。

3、高温电炉氮气(N2)的影响:当硅碳棒表面温度达到1400℃时,N2就与SiC发生反应,生成氮化硅,使硅碳棒的电阻值显著增长。

4、干燥空气的影响:硅碳棒能在高温(1600℃)、干燥的空气中长期使用,电阻缓慢增加。氧气(O2)与SiC在高温时发生反应,生成二氧化硅(SiO2)。由于硅碳棒表面形成了一层SiO2保护膜,因此硅碳棒具有很强的抗氧化性。

5、氢气(H2)的影响:在1250℃时,H2与SiC发生反应,生成甲烷(CH4),破坏SiC发热体。

6、氯气(Cl2)的影响:Cl2在600℃时就会与SiC发生反应,在1200℃时,Cl2会把硅碳棒完全分解。

7、氨气(NH3)的影响:NH3在高温时可分解成成N2和H2。故使用温度应控制在1250℃以下。            

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