指标信息

　　二次电子图像（SEI） 分辨率1.5nm

　　背散射电子图像（BEI) 分辨率3.0nm

　　X射线能谱仪（EDS） 分辨率128ev 分析范围B5～U92

　　电子背散射衍射（EBSP）空间分辨率 0.5μm 采集时间 20ms～2s/每菊池图

　　数字图像采集系统 分辨率512×384pixe1 1024×768

　　附件信息

　　1.二次电子探测器（SE） 2.背散射电子探测器(BE) 3.X射线能谱仪(EDS) 4.电子背散射衍射(EBSD) 5.真空镀膜机Je01 JEE-4X 6.离子溅射仪Je01 JFC-1100 7.数字图像打印机Sony U-890 8.超声波清洗仪KQ-200DF 9.电子干燥器 10.烘干箱200℃ 11.激光打印机 LEXMARKoptras1250 12.激光打印机EPL-5800L