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冷冻蚀刻电镜技术装置型号

2018.6.30

装置型号

目前,冷冻蚀刻装置的型号很多,但主要分为两种类型:一种是专用冷冻蚀刻装置,如EIKO公司生产的FD2A型、FD3型,BALZERS公司生产的BAF300型;另一种是真空喷镀仪的冷冻蚀刻附件,如日立公司生产的HFZ1型,它与FE1型加温蚀刻装置一起安装在HUS5型真空喷镀仪中使用。以上两种类型各有优缺点,专用装置优点在于操作方便,能连续制样,效率高。缺点是价格贵;附件装置价格虽便宜,但不能连续操作,效率低。


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