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一种包裹二维材料的原子力显微镜探针制备方法

2019.12.16

      本发明的实施例提供一种包裹二维材料的原子力显微镜探针制备方法,涉及原子力显微镜探针的修饰与加工技术领域。本发明实施例提供的方法,能够在空气或真空中,在500℃的环境中能稳定粘附在针尖上,可以在空气和真空中应用于原子力显微镜实现各种原子力显微镜图像的获取;可以应用于对二维平面材料的表面性能研究,尤其是二维材料之间的粘附,摩擦等机械力学性能,便捷地研究大批低维材料的特殊性质;且制作过程成熟简便,适合实验室及产业化应用制作二维材料修饰针尖探针。

     主权利要求: 1.一种包裹二维材料的原子力显微镜探针制备方法,其特征在于,包括:S01,将二维材料置于思高胶带黏着面,对折10至20次所述思高胶带,形成胶带黏着面二维材料分布;S02,将所述胶带黏着面粘在硅片表面的氧化层上,并增加接触压力,使得在硅片氧化层表面剩余二维材料,选择厚度30nm以下的二维材料的硅片;S03,将所述选择的厚度30nm以下的二维材料的硅片置于旋涂台上,旋涂碳酸亚丙基酯胶后烘干;S04,重新截取一段思高胶带,划出一个3至6mm的正方形洞,粘于已烘干的硅片表面,撕下思高胶带,旋涂的碳酸亚丙基酯胶及硅片上的二维材料片随胶带脱离,在所述正方形洞洞口区域,形成二维材料与碳酸亚丙基酯胶的复合体;S05,将粘有二维材料及碳酸亚丙基酯胶复合体的胶带置于探针台支架之上,孔洞部分悬于中间,二维材料位于碳酸亚丙基酯胶上端;S06,将有思高胶带的支架刚性固定于探针夹上,将选取普通探针,利用银胶将反面粘于硅片、石英片或载玻片基底之上,探针尖端部分朝上,将整个探针置于调温式四维微操作平台上并用银胶固定;S07,将二维材料与普通探针针尖对齐,调节初始温度55℃,逐渐调节竖直方向平台的移动直到二维材料片与探针针尖接触并包裹,升高温度到120℃,等待20-30min,碳酸亚丙基酯胶融化并脱离思高胶带,降温至常温;S08,利用真空退火装置将覆有二维材料片的探针真空退火除胶,真空度为10-5Pa,温度为380℃,持续30min。


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