①排气式结构，共同特点是有排气管，需要通过真空排气台进行排气。衔铁动作机构位于真空系统内部，控制电流流过线圈产生的电磁力使置于真空内的铰链衔铁动作，带动动触点动作，完成开断或接通动作。

②膜片式结构，特点是不需要进行排气，其真空系统通过真空焊接炉直接获得，衔铁机构位于真空室外，衔铁的运动通过弹性密封膜片传入真空室内部。

真空继电器是利用真空技术德尔继电器。使用磁路部分零件，磁路部分的主要作用是将电的变化变成磁的变化并将它传递到衔铁部分。由于这一部分经常需要将真空与大气隔开，所以对原材料的组成、密封部位的尺寸有较高要求。真空继电器可在低真空（0.1-100kPa)范围内方便地实现真空度的控制，可满足厂矿企业和科研单位对真空设备的自动控制和自动保护的需要。它克服了差压式仪表（如：真空电接点表等）控制精度低、可靠性差、设定值随着环境大气压而变化等致命弱点。