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X射线能谱法与X射线光谱法最小浓度检测极限的对比

2018.7.26

自从1968年Fitzgerald等人把x射线能谱法[EDX]引用于电子光学仪器以来,不少专家就着手评价这两种系统的优劣了。Servant等人在普通扫描电镜[SEM]上加装束流调节器和防污染装置,用能谱仪[EDX]对浓度大于2(wt)%的二元合金。

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