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探针台选型注意事项

2021.11.11

  ※最大需要测几inch的晶圆或者器件?是否需要测试破片或者单颗芯片,最小的单颗芯片尺寸?

  ※探针台机械精度要求多高?

  ※点测样品的电极尺寸?100μm *100μm或60μm *60μm的pad,还是FIB制作的mini pad,或者ic内部的metal线路?

  ※最多需要几个探针同时去点测?

  ※是否会用到探针卡测试?

  ※光学显微镜的最小分辨率需要用到多少?

  ※显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测?

  ※探针点测时,对电流的要求能否达到100fa或者以下?低

  电容要求能否要做到0.1pf?是否有射频需求?

  ※接驳的测试仪器接口有哪些?

  ※测试环境时是否会需要加热或者降温? 是否需要密闭腔体?

  ※对chuck的漏电要求怎样?是否需要添加低阻抗chuck?

  ※是否需要防震桌?

  ※若添置防震桌,是否有压缩空气?

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