ASM181T氦质谱检漏仪的日常维护
阿尔卡特 作者：刘朝晖
1、机械泵维护
（1） 每月检查机械泵油位，如果油位低于或快接近油位下限时，须添加机械泵油；如果油呈棕色、褐色，或闻起来有异味，说明油已变质。应将油放尽后，暂时将放油塞拧上，让泵在进气口打开的状态下运转约10s， 将留在机械泵循环通路中的油也放出，再拧开放油塞，放出残留的油。必要时，先用新油冲洗一遍，再加入新油。
（2） 每3 个月更换机械泵油。检查油雾过滤器，若被油浸透，应更换。
2、离子源维护
在对离子源作维护之前， 必须将检漏仪的主电源插头拔下。
（1） 拆卸VHS放大器。将VHS放大器和离子源的电源接头卸下， 用内六角扳子拧下两个紧固螺钉， 拆下VHS 放大器，将VHS 放大器头朝下，放置在清洁处，注意防尘。
（2） 清洗离子源底座。拧下6个螺钉，然后小心地把底座法兰垂直地提起来，接着用酒精清洗密封面。完成以上工作后，立即用密封圈专用模具将离子源开口盖住。
（3） 取下灯丝。拆下3 个紧固螺钉，取下灯丝。
（4） 拆下收集极。只要将两个紧固螺钉取下即可。
（5） 换新灯丝和收集极。先将收集极用两个紧固螺钉固定在离子源座上（ 不要将螺钉拧紧） 。接着将新灯丝的两个接头插入接线柱内，此时不要拧紧两个连接螺钉。
（6） 部件的调整。灯丝织支撑架的两个安装面和其支撑座两个安装面紧贴上，拧紧紧固螺钉。调节收集极，使灯丝在左右方向位于收集极的中心（收集极开口两边应有同样的圈数） ;继续调整收集极，使灯丝在垂直方向平行于收集极的开口，且处于开口的中央。拧紧收集极的两个紧固螺钉。拧紧灯丝的两个连接螺钉。
（7） 安装离子源和VHS放大器。仔细检查离子源的导向块上不要粘有其他物体，小心地将导向块慢慢地放入质谱室腔中，均匀拧紧6个螺钉即可。将VHS放大器仔细放在密封面上，均匀拧紧两个螺钉。最后，将VHS放大器和离子源的电线连接好。VHS 放大器、离子源等部件，对任何形式的污染及灰尘都十分敏感，在维护过程中必须特别注意。
3、复合分子泵润滑
此维护过程每6个月进行一次。润滑脂注入器上带有一个黑色夹子和一个红色夹子， 这些夹子是用来确定注入轴承的油脂用量的。
（1） 润滑前端轴承。将注入器插入螺钉孔，直到无法插入为止，按下注入器手柄直到其在夹子的红色标记处停止。
（2） 润滑后端轴承。将红色夹子取下，把油脂（红色夹子宽度） 分别均匀地注入两个注入孔（ 两个对称的通孔） 中。
（3） 让轴承中润滑脂分布均匀。将分子泵电源板CD2 上的开关SW1 扳向“ R”位置，开机让泵运转约10min，然后关机。再将开关扳向“ N”位置。改变SW1 的位置时，均要求在不带电的情况下进行。
4、内部标准漏孔的更换及重新标定
标定周期为两年。使用标准漏孔可以使检漏仪自动校准。当开机时，校准就自动进行，或在操作面板上按下AUTOCAL 键，也能达到校准的目的。
（1） 拆下内部校正漏孔。关闭检漏仪，拔下主电源；打开前面板；卸下温度传感器上的连接插头（3 针插头） ；拆下法兰的连接卡箍，取下漏孔。将漏孔送计量室计量。
（2） 待漏孔计量结束后，安装校正漏孔，连接好法兰卡箍和传感器插头。
（3） 设置新的漏率。修改主电路板（ 固定于前盖板上） 上3个可调旋钮的位置，就可以完成此项工作。如：漏孔标签上漏率在20℃时为1.5×10-9MPa·L/s， 可以这样设定3个按钮，S4为1，S3为5，2为7， 同时检查S1 是否置于OFF 位置， 当置于OFF 位置，位于S1 旁边的红灯熄灭，内部漏孔就可以使用了。内部漏孔的漏率必须在1×10-10～8×10-8MPa·L/s 之间。
（4） 关上前盖板，拧上4 个螺钉；插上主电源插头；开启检漏仪，在检漏仪完全启动后，自动校准就会自动进行。
5、用外部校准漏孔校准仪器
（1） 打开检漏仪。关闭检漏仪主电源，将前盖板打开。
（2） 计算外部标准校准漏孔的正确漏率。根据环境温度和标定此漏孔的时间长短，来计算此漏孔的漏率值。如：外部漏孔的标定漏率值是1.1×10-9MPa·L/s (He)， 在20℃时于2005 年2月标定的。现在环境温度为25℃，温度影响系数为3%/℃，时间系数为2%/a。因此，此漏孔在2006 年1 月，环境温度为25℃时的漏率，就可以计算出来，即1.1×10-9（ 1+0.03×5）（ 1-0.02×1） =1.2×10-9MPa 。
（3） 输入外部漏孔的漏率值：在主板的3 个旋钮（ 像输入内部漏孔值一样） ，调整3 个旋钮的位置，以得到正确的漏率值。例如S4 为1，S3 为2，S2 为7 表示1.2×10-9MPa·L/s 的漏率。同时将主板开关S1 置为ON 位，其旁边的红色指示灯亮，此时外部漏孔就可以使用了。注意：此时内部自动校准无法使用；仪器启动时，自动校准不再进行；只有外部漏孔可以自动进行校准，当检漏仪在测试状态时，按下AUTOCAL键即可进行。
（4） 重新开启检漏仪。
（5） 测试。把外部校准漏孔连接到检漏口上，按下测试键，等几分钟，让信号稳定。
（6） 校准过程。当氦信号稳定后，按下操作面板上的AUTOCAL键，键上的红色指示灯亮并闪烁，外部自动校准开始。当外部自动校准完成后，可停止检测，取下漏孔之后，检漏仪就可以正常使用了。如外部自动校准无效，AUTOCAL 键上的红灯亮，以前存储之值仍然保留，检漏仪可以继续使用。
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