1.微区性、微量性:几个立方um范围能将微区化学成分与显微结构对应起来。而一般化学分析、X射线荧光分析及光谱分析等，是分析样品较大范围内的平均化学组成，也无法与显微结构相对应，不能对材料显微结构与材料性能关系进行研究。

　　2.方便快捷:制样简单，分析速度快。

　　3.分析方式多样化:可以连续自动进行多种方法分析，如进行样品X射线的点、线、面分析等。自动进行数据处理和数据分析。

　　3.应用范围广:可用于各种固态物质、材料等。

　　4.元素分析范围广:一般从铍(Be4)--铀(U92)。因为H和He原子只有K层电子，不能产生特征X射线，所以无法进行电子探针成分分析。锂(Li)虽然能产生X射线，但产生的特征 X射线波长太长，通常无法进行检测，电子探针用大面间距的皂化膜作为衍射晶体已经可以检测Be元素。

　　5.不损坏样品:样品分析后，可以完好保存或继续进行其它方面的分析测试，这对于文物、古陶瓷、古硬币及犯罪证据等稀有样品分析尤为重要。

　　6.定量分析灵敏度高:相对灵敏度一般为(0.01-0.05) wt%，检测绝对灵敏度约为10-14g，定量分析的相对误差为(1-3)%。

　　7.一边观察一边分析:对于显微镜下观察的现象，均可进行析。