超纯水（Ultrapure water）又称UP水，是指电阻率达到18 MΩ*cm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。可以用于超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程[1] 。
中文名
超纯水
外文名
Ultrapure water
别 名
UP水
定 义
电阻率达到18MΩ*cm（25℃）的水
特 点
水中几乎没有杂质
应 用
器皿清洗、光刻掩模版制备等
