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罗茨真空泵停车程序

2021.7.11

  (1)、关闭罗茨真空泵进气阀。

  (2)、从上到下逐级停罗茨真空泵,最后停前级泵,严禁搞错停车程序。

  (3)、前级泵停车后,立即向前级泵进气口放气。

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