质量敏感型气敏传感器是由交变电场作用在压电材料上而产生声波信号,通过测量声波参数(振幅、频率、波速等)的变化从而得到被分析检测物的信息,包括石英晶体微天平气敏传感器(体声波)和表面声波气敏传感器。体声波器件因声波从石英晶体或其他压电材料的一面传递到另一面,在晶体内部传播而命名;

而声表面波器件是在固体的自由表面或者两种介质的界面上传播。传递过程中,基片或基片上所覆盖的特殊材料薄膜与被分析的物质相互作用时,声波的参数将发生变化,通过测量频率或者波速等参数的变化量可得到被分析物的质量或浓度等相关信息。

表面声波气敏传感器主要适用于有机气体的检测,其优点是成本较低,工作频率较高,可产生更大频率的变化,灵敏度高,反应速度快,检测气体的范围比较广泛,功耗低等。但是相对于石英晶体微天平气敏传感器而言,表面声波气敏传感器的信噪比小,且对电路的要求更加复杂,其重复性也难以保证。