扫描电子显微镜的发展历史
扫描电镜是用于检验和分析固体微观结构特征的最有用的仪器之一，可以获得高的图像分辨率。场发射电子枪是具有很高的亮度和很小的电子源。扫描电镜的图像反映了样品三维的形貌特征，通过电子和样品的互作用可以研究样品的结晶学、磁学和电学特性。
早在1938年，Von.Ardence将扫描线圈加到透射电子显微镜上，制成了第一台扫描透射电子显微镜。第一台检验厚样品的用二次电子成像的SEM是在1942年由Zworykim等制成，当时的分辨率仅达到1μm。直到1952年，C.W.Qatley和McMullan在剑桥制成了第一台现在的SEM，分辨率达到500 Å。目前，扫描电镜的发展方向是两个：大型和超大型。
大型：采用场发射电子枪或LaB6电子枪，提高分辨率到25 Å。与电子探针的功能相结合，加上波长色散谱仪和能量色散谱仪，进行元素分析。
超小型：由于扫描电镜制样简单，操作方便，图像更有立体法感，层次细节更分明和丰富，清晰度高，个制造厂家自1975年后纷纷制造各种桌上型的扫描电镜，也称简易型。其特点是体积小，重量轻。
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