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技术原理
简单介绍高频感应等离子体发生器
2021.10.14
高频等离子体炬,或称射频等离子体炬。它利用无电极的感应耦合,把高频电源的能量输入到连续的气流中进行高频放电。
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周锦帆
原国家质检总局 教授
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