激光诱导击穿光谱仪技术参数
元素测量范围 | 原子序数Z>=1 (包括C, H, O等有机元素,以及N, Li, Be, B等轻元素,以及几乎所有金属、非金属元素) |
浓度范围 | 10ppm至%级别(取决于元素及仪器配置) |
分析时间 | 一般20s左右 |
样品形态 | 固体或粉末(粉末需要压片后测量)。直接测量,无需特别的样品制备 |
样品放置及定位 | XYZ三轴可自由定位样品台,并可以以微米为单位精确位置定位 |
样品成像 | 双镜头配置。广角镜头用于大视野观察,高倍放大镜头用于微观精确定位 |
最低样品质量 | ~100pg至10 μg(取决于样品) |
最大样品尺寸 | 约12.7cm x 22.8cm x 12.7cm |
分析光斑尺寸 | 光斑大小可调。最小:<10μm(取决于激光器),最大:500μm |
分析深度 | ~1 - 100μm,取决于材料材质及激光器能量设置 |
激光能量计量 | 0~400mJ/脉冲+/-5%,可调 |
激光器 | Nd:YAG1064nm波长,200mJ/脉冲266nm波长,50mJ/脉冲 |
光谱探测器 | 4通道或7通道宽频光谱仪(波长λ = 190 - 950)Echelle中阶梯iCCD高分辨率光谱仪(波长λ = 200 - 900) |
所需气体 | 分析C, N, H, O等有机元素时需要少量的氩气或氦气作为保护气 |
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