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薄膜测量配置

2018.7.12

薄膜测量常用配置

光谱仪

AvaSpec-2048光谱仪,UA光栅(200-1100 nm),DUV镀膜,DCL-UV/VIS灵敏度增强透镜,
      100 µm狭缝,OSC-UA消二阶衍射效应镀膜

测量膜厚范围

10 nm - 50 µm,1 nm分辨率

软件

AvaSoft-Thinfilm应用软件

光源

AvaLight-DHc紧凑型氘-卤素光源

光纤

1根FCR-7UV200-2-ME反射光纤探头

附件

THINFILM-STAGE支架,用于固定反射光纤探头
      Thinfilm-standard Tile with 3 calibrated different thickness layers of SiO2


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