薄膜测量配置
薄膜测量常用配置
光谱仪 | AvaSpec-2048光谱仪,UA光栅(200-1100 nm),DUV镀膜,DCL-UV/VIS灵敏度增强透镜, |
测量膜厚范围 | 10 nm - 50 µm,1 nm分辨率 |
软件 | AvaSoft-Thinfilm应用软件 |
光源 | AvaLight-DHc紧凑型氘-卤素光源 |
光纤 | 1根FCR-7UV200-2-ME反射光纤探头 |
附件 | THINFILM-STAGE支架,用于固定反射光纤探头 |
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