电子探针X射线显微分析仪的阴极发光介绍
阴极发光是指晶体物质在高能电子的照射下，发射出可见光红外或紫外光的现像。阴极发光现象和发光能力、波长等均与材料基体物质种类和含量有关。阴极发光效应对样品中少量元素分布非常敏感，可以作为电子探针微区分析的一个补充，根据发光颜色或分光后检测波长即可进行元素分析。从阴极发光的强度差异还可以判断一些矿物及半导体中杂质原子分布的不均匀性。例如半导体和一些氧化物、矿物等，用EPMA的同轴光学显微镜可以直接观察可见光，还可以用分光光度计进行分光和检测其强度来进行元素分析。阴极发光现象是了解物质结合状态与结晶状态，是否含有杂质元素等最有效的手段。
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