扫描电镜X射线能谱分析法测定低能重离子注入黄豆种子
利用200kV 离子注入机产生的 Fe~+、Cu~+和 Zn~+3种重离子分别对黄豆种子进行直流注入,以扫描电镜X射线能谱分析法测定低能重离子的注入深度。测量定结果表明,Fe~+的最大注入深度未超过18μm,Cu~+、Zn~+的最大注入深度可达25μm。
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