扫描电子显微镜分析测试步骤
分析测试步骤
开机
1、 接通循环水（流速1.5-2.0L/min）
2、 打开主电源开关。
3、 在主机上插入钥匙，旋至start位置。松开后钥匙自动回到on位置，真空系统开始工作。
4、 等待10秒钟后，打开计算机运行。
5、 点击桌面的开始程序。
6、 点击[JEOL.SEM]及[JSM-5000主菜单]。
7、 约20分钟仪器自动抽高真空，真空度达到后，电子枪自动加高压，进入工作状态。
8、 通过计算机可以进行样品台的移动，改变放大倍数、聚焦、象散的调整，直到获得满意的图 像。
9、 对于满意的图像可以进行拍照、存盘和打印。
10、若需进行能谱分析，要提前1小时加入液氮，并使探测器进入工作状态。
11、打开能谱部分的计算机进行谱收集和相应的分析。
12、需观察背散射电子像时，工作距离调整为15mm，然后插入背散射电子探测器，用完后随时拔出。
更换样品
1、 点击“ET/ON”,出现“ET/READY”。
2、 点击“Sample”,再点击“Vent”。
3、 50秒后拉出样品台，从样品台架上取出样品台。
4、 更换样品后，关上样品室门，再点击“EVAC”，真空系统开始工作，重复开机10.1.8,10.1.9。
关机
1、 点击[EXIT],再点击[OK]，扫描电镜窗口关闭，回到视窗桌面上。
2、 点击桌面上的[Start]。
3、 推出视窗，关闭计算机。
4、 关闭控制面板上的电源开关。
5、 等待15分钟后关掉循环水。
6、 关掉总电源。
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