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原子力显微镜的结构

2018.7.31

它的结构主要包括带针尖的微悬臂、微悬臂运动检测装置、监控其运动的反馈回路、使样品进行扫描的压电陶瓷扫描器件等,而扫描器件是原子力显微镜中位置控制的最重要的部分,需要提供纳米级精度且高性能的扫描器,芯明天公司提供悬臂式压电陶瓷管扫描器、压电物镜定位器、二维XY或三维XYZ的压电纳米定位台,如下图所示,它们具有纳米级(10^-9m)定位精度,且自带闭环反馈系统,完全满足原子力显微镜的要求。


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原子力显微镜的结构还包括计算机控制的图像采集、显示及处理系统。

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