海德汉直线光栅尺
敞开式直线 光栅尺 2007年5月 敞开式直线光栅尺 直线光栅尺测量直线轴位置时不存在任何 敞开式直线光栅尺设计用于需要高精度测 机械结构 附加的机械传动元件。因此，它能消除以 量的机床和系统。典型应用包括： 敞开式直线光栅尺包括光栅尺或钢带光栅 下潜在误差源： • 半导体工业的测量和生产设备 尺和扫描头，光栅尺和扫描头间无机械 • PCB电路板组装机 接触。 • 由于滚珠丝杠温度特性导致的位置误差 • 超精密机床，例如加工光学元件的金刚 • 反向误差 石刀具车床，加工磁盘的端面车床和加 敞开式直线光栅尺的长光栅直接固定在安 • 滚珠丝杠螺距误差导致的运动特性误差 工铁氧体元件的磨床 装面上。安装面的平面度直接影响直线光 • 高精度机床 栅尺精度。 因此，直线光栅尺已成为高精度定位和高 • 测量机和比较仪，测量显微镜和其它精 速加工不可或缺的必备条件。 密测量设备 • 直接驱动 其它样本还有 • 带内置轴承角度编码器 • 无内置轴承角度编码器 本样本是以前样本的替代版，所有以前 • 旋转编码器 版本均不再有效。订购HEIDENHAIN公 • 伺服驱动用编码器 司的产品仅以订购时有效的样本为准。 • NC数控机床用直线光栅尺 • 接口电子设备 有关相应的适用标准（ISO，EN等）， • HEIDENHAIN数控系统 请见样本中的特别标注。 欢迎索取，或访问 。 目录 概要 敞开式直线光栅尺 2 选型指南 4 技术特点 测量原理 测量基准 6 增量测量法 7 光电扫描 8 测量精度 10 可靠
技术信息 直线光栅尺在真空技术中的应用 “真空”是指全空的空间，无空气也无任何其它气体。 根据真空的纯度，通常将真空分为低真空、中等真空、高度真空或超高真空。 真空技术在许多现代化生产和科研中发挥着重要作用。真空技术是电子工业和生物技术，薄膜沉积技术，新材料开发，医药以及化学分 析不可或缺的技术。 真空应用对零部件提出严格的要求，当然也影响到定位应用的编码器。海德汉针对高真空和超高真空应用特别设计的直线光栅尺能满足 这些要求，措施包括： • 适应真空应用的PCB，黏胶和漆料，以减少气体析出 • 通气的空腔，缩短抽真空时间 • 耐高温，支持较高的加热温度 • 无磁铁材料，提高过程可靠性 • 超净车间生产，确保高清洁程度 真空等级 真空 压力， 高度， 平均自由行程， 时间， 当空气被排出封闭的空间，空气将变得稀 单位mbar 单位km 单位m 单位s 薄，结果是压力降低：产生真空。封闭的 空间中的空气量越少，即压力越小，真空 海拔高度 两个气体分子无碰撞 颗粒覆盖表面的时间 度越高。真空度分为四级。空气压力低于 1 mbar是低真空；空气压力低于1 bar是中 +3 –5 –5 低 10 至1 < 50 < 10 < 10 等真空。真空度低于0.001 mbar为高真空， 达到或低于0.000 000 1 mbar为超高真空。 –3 –5 – 1 –5 -2 中等 1至10 50至100 10 至10 10 至10 真空应用 -3 -7 -1 +3 -2 +2 如果一个封闭的空间中不允许任何异物， 高 10 至10 100至500 10 至10 10 至10 没有空气，因此也没有任何悬浮颗粒，就 -7 +3 必须是真空环境。有些情况需要在真空中 超高 < 10 > 500 > 10 > 100 进行尺寸测量，例如需要检查亚微米级的 超精细结构或需要切分和检查颗粒时。直 线光栅尺和角度编码器在真空中的常见应 用包括电子显微镜、机械手、多路执行器、 XY工作台、电子束显微镜，半导体工业的 圆晶检查或测量同步加速器辐射的光谱仪 轴。 2015年5月 真空应用对编码器的要求 通常在低真空和中等真空应用中，可用海 德汉的标准编码器，工作温度有一定限 制。高真空或超高真空应用的光栅尺需要 满足一些特殊要求。 少量气体逸出 真空应用中，必须尽可能减少气体的逸 出，否则真空室的压力将显著升高。超高 真空应用中，所有部件都十分关键。例如， 部分塑料件的挥发性溶剂会逸出。印刷电 路板、黏胶或漆料中都含这类塑料，在超 真空应用中，必须严格避免这些材料。海 德汉采用的PCB和黏胶能满足真空应用要 求。常用的漆料也用满足真空应用要求的 材料取代。在超真空应用中，必须尽可能 压缩零部件数量—接口和脉冲整形电子电 路必须在真空室外。为此，海德汉提供配 外部接口硬件的编码器。对于高真空应用， 方法之一是将接口硬件安排在真空室内。 空腔的正确通风 要产生真空，必须排出封闭空间内的空气。 获得所需低压的时间被称为“抽真空时 间”，该时间应尽可能短，以使真空系统 尽快开始工作。如果空腔中的空气能很快 逸出，就能缩短抽真空的时间。为此，海 德汉编码器外壳增加了空气孔数量，打开 盲孔的螺纹孔，通气孔直接打通到空腔 中。 无铁磁材料 根据真空腔中进行的操作，编码器中的部 分材料可能不允许使用。铁磁材料不允许 用在检查微电子电路的电子束显微镜中。 为此，海德汉真空应用的编码器无磁性材 料。 耐高温 为缩短抽真空时间和获得较高真空度，真 空腔需要加热到100 °C甚至更高的温度。
敞开式直线光栅尺 2016年4月 敞开式直线光栅尺 直线光栅尺测量直线轴位置，测量期间没 敞开式直线光栅尺设计用于超高测量精度 机械结构 有任何其它机械传动件。因此，它能消除 的机器和系统。典型应用包括： 敞开式直线光栅尺包括光栅尺或钢光栅尺 以下潜在误差源： • 半导体工业的测量和生产设备 带和读数头，光栅尺和读数头间无机械接 • 滚珠丝杠温度特性导致的定位误差 • PCB电路板组装机 触。 • 反向误差 • 超精密机床，例如加工光学器件的金刚 敞开式直线光栅尺的光栅尺带固定在安装 • 滚珠丝杠螺距误差导致的运动特性误差 石刀具，加工磁盘的端面车床和加工铁 面上。因此，安装面的平面度是高精度直 氧体元件的磨床 线光栅尺应用的基础条件。 因此，直线光栅尺是高精度定位和高速加 • 高精度机床 工机床不可或缺的基础技术手段。 • 测量机和比较仪、测量显微镜和其它精 密测量设备 • 直驱电机 以下信息 • 内置轴承角度编码器 • 无内置轴承角度编码器 本样本是以前样本的替代版，所有 • 模块式磁栅角度编码器 以前版本均不再有效。 • 旋转编码器 订购海德汉公司的产品仅以订购时 • 伺服驱动编码器 海德汉编码器接口样本，ID 1078628 -有效的样本为准。 • NC数控机床用直线光栅尺 xx，提供全部可用接口的全面说明和一 • 接口电子电路 般电气信息。 本产品遵循的标准（ISO，EN等）， • 海德汉数控系统 请见样本中的标注。 欢迎索取，或访问 。 目录 概要 敞开式直线光栅尺 2 选型指南
4 技术特点 测量原理 8 可靠性 12 测量精度 14 机械结构类型和装配 17 一般机械信息 21 技术参数 式位置测量 LIC
4113，LIC
4193
产品图：
LB382C光栅尺的安装说明 目录 光栅尺的组成 安装附件 安装步骤 注意事项 变换电缆的出线方向 参考点的位置与设定 外形尺寸（标准型） 外形尺寸（镜像型） 安装公差---要特别注意 安装外壳 安装外壳 安装外壳 安装外壳 安装导轨钢带 安装标尺钢带 穿标尺钢带 预紧钢带 固定钢带及贴标签 穿密封条 固定密封条 安装读数头 固定密封条 （端盖E1) 检查接地电阻---不能省缺 拉紧钢带---计算拉紧量---重要! 拉紧钢带 ---固定钢带 线性补偿---激光干涉仪检测 光栅尺的防护---DA300 技术参数 电气连接图---LB302 输出信号---LB302 电气连接图---LB382C 输出信号----LB382C Chen dong LB382C光栅尺的安装说明
直线光栅尺 用于NC数控机床 2007年6月 更多信息，请访问 或来函索取。 产品样本： • 敞开式直线光栅尺 • 内置轴承角度编码器 • 无内置轴承角度编码器 • 旋转编码器 • HEIDENHAIN后续电子设备 • HEIDENHAIN数控系统 • 机床检测和验收测试测量系统 本样本是以前样本的替代版，所有以前 版本均不再有效。订购HEIDENHAIN公 技术信息样本： 司的产品仅以订购时有效的样本为准。 • 进给轴精度 • 单场扫描封闭式直线光栅尺 有关相应的适用标准（ISO，EN等）， DIADUR和AURODUR是德国Traunreut处 • EnDat 2.2－位置编码器双向数字接口 请见样本中的特别标注。 的DR. JOHANNES HEIDENHAIN公司的注 • 伺服驱动用编码器 册商标。 2 目录 概要 直线光栅尺 4 选型指南 6 技术特性和安装信息 测量原理 测量基准 8 测量法 8 增量测量法 9 光电扫描 10 测量精度 12 机械结构类型和安装指南 14 一般机械信息 18 技术参数 定位用途的 直线光栅尺 系列或型号 推荐测量步距 用于位置测量 至0.1 μm LC 400系列 20 LC 100系列 22 高重复性的增量直线测量 至0.1 μm LF 481 24 LF 183 26 用于
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