1）电缆和管路。注意查看电缆是否有破损 ，特别要注意查看C型架尾部的电缆和管路悬挂是否牢固，防止脱落被挤压损坏，导致不应有的损失。

　　2）C 型架的行走情况。观察 C 型架行走是否平稳 ，是否有卡阻和步进现象。行走不平稳本身不是大问题 ，但有隐患 ：有可能引起接插件、标样片、快门松动 ，影响校准精度和测量结果。C 型架在前后的停止位置应正确 ，否则应检查限位开关及撞块。

　　3）射线源的电压和电流。射线源的稳定是测厚仪稳定运行的基础。平时应多注意每个 KV 段的电压值和电流值 ，作好记录。发现异常的波动或变化应立即关机 ，先检查冷却水和电缆 ，如无异常 ，意味着射线源或驱动板可能有故障。

　　4）探头的全电压和零电压。测厚仪使用一段时间 ，各个KV 段的全电压和零电压的值都可能会有一些变化。经常记录各个 KV 段的全电压和零电压 ，与标定测厚仪时的数值相比较 ，如果偏离不大 ，使用“校准”功能还是能保证测量精度的 ；如果偏离大了 ，说明有问题存在。如果探头电压不正常 ，应首先检查快门打开和关闭是否到位 ，X 射线束的通路中是否有异物 ，窗口是否干净 ，排除这些可能后 ，再考虑探头、放大器或是射线源、采集卡的因素。正常情况下 ，全电压在 8.5 ～ 9.5 V 之间 ，通常使用在 9.0 ～ 9.2V（因设备调试情况不同而异）。零电压应低于 0.02 V。注意 ：这里所说的探头电压 ，是指在维护页面上读出的数值 ，它是探头检测到的信号经过前置放大器（探头内）和后置放大器（主电柜内）放大后 ，由模拟量数据采集卡进行 A/D 转换后 ，最终送到主计算机内进行处理的数据。

　　5）做校准试验。试验测厚仪的校准功能是否正常。这也是发现一些隐藏着的故障的有效手段。

　　6）做精度测试。用已知准确厚度的样片实际测量 ，与以前的测量记录作比较 ，看看测量误差是否有明显变化。样片的厚度范围最好能覆盖测厚仪的整个量程范围或是平时轧制用到的范围。在成品厚度附近的规格最好密集一些。注意应该细心保管好一套标准样片 ，每次测试都应这同一套样片。不同的样片测试出的厚度误差变化很难说明问题的。