关注公众号
手机查看
¥1
¥2
¥5
¥66
¥88
¥520
横坐标是波长,纵坐标是光幅(强度)。关于X光,汞灯光谱中包含有X光,但强度已经很小了,达不到应用水平。其实可以看到,KrF,ArF的强度也不大,所以在早期i线的光刻机上用的是汞灯,而DUV的光刻机用的是准分子激光。实验室中的汞灯一般为线光谱,主要谱线波长为: 。
Antpedia 编辑
适用于 iCE™ 3000 系列原子吸收光谱仪的空心阴极灯