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TEM中的孔径半径α角如何影响分辨率

2021.6.08

光学显微镜的分辨本领取决于照明光源的波长;球差是限制电磁透镜分辨本领的主要因素;孔径半角α减小,球差减小,但从衍射效应来看,α减小使0r变大,分辨本领下降,关键是电磁透镜确定电磁透镜的最佳孔径半角,使衍射效应Airy斑和球差散焦斑尺寸大小相等,表明两者对透镜分辨本领影响效果

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