匀胶热板一体机相关内容
匀胶热板一体机是一种用于材料科学、机械工程、自然科学相关工程与技术、电子与通信技术领域的工艺试验仪器，于2019年5月27日启用。
技术指标
最大可完成8英寸晶圆的匀胶烘烤，向下兼容；Windows操作系统，PC控制；密码设定保护。 匀胶机：最大转速12000 rpm，转速精度<0.2 rpm；加速范围0~30000 rpm/s；时间设定精度0.1 s；不均匀性<±3% @4英寸。 热板：10英寸方形, 配可编程顶针和限位孔；温度设定范围300℃, 温度误差±0.3%，温度均匀性±0.5℃。
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