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俄歇电子能谱仪样品的尺寸的相关介绍

2022.1.14

  俄歇电子能谱仪对分析样品有特定的要求,在通常情况下只能分析固体导电样品。经过特殊处理,绝缘体固体也可以进行分析。粉体样品原则上不能进行俄歇电子能谱分析,但经特殊制样处理也可以进行分析。由于涉及到样品在真空中的传递和放置,所以待分析样品一般都需要经过一定的预处理。

  样品的尺寸

  在实验过程中,样品必须通过传递杆,穿过超高真空隔离阀,送到样品分析室,所以样品的尺寸必须符合一定规范,以利于真空系统的快速进样。块状样品和薄膜样品,长宽最好小于10 mm,高度小于5mm。体积较大的样品,必须通过适当方法制备成大小合适的样品。在制备过程中,必须考虑处理过程可能对表面成分和化学状态所产生的影响 。由于俄歇电子能谱具有较高的空间分辨率,在样品固定方便的前提下,样品面积应尽可能地小,这样可以在样品台上多固定一些样品。

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