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影响TEM的要素分辨率

2021.6.08

大孔径角的磁透镜,100KV时,分辨率可达0.005nm。实际TEM只能达到0.1-0.2nm,这是由于透镜的固有像差造成的。提高加速电压可以提高分辨率。已有300KV以上的商品高压(或超高压)电镜,高压不仅提高了分辨率,而且允许样品有较大的厚度,推迟了样品受电子束损伤的时间,因而对高分子的研究很有用。但高加速电压意味着大的物镜,500KV时物镜直径45-50cm。对高分子材料的研究所适合的加速电压,最好在250KV左右。

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