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测晶格常数,衍射峰强度等,能够做物相分析,看出物质组成,以及物质的相。高分辨的还可以测小角度散射&衍射,薄膜反射率,密度,多层膜厚度,表面与界面粗糙度,RSM,pole figure。
原国家质检总局 教授