影响凹面光栅分辨率检测的因素

影响凹面光栅分辨率检测的因素要检测一块凹面光栅的分辨率，必须构建符合此光栅使用条件的检测系统，而检测系统的光源、狭缝和探测器以及其放置位置的精度不可避免地影响光栅检测结果。因此为了得到真正的凹面光栅分辩率必须对这些影响因素加以科学的分析，并在检测数据里，合理地加以去除。凹面光栅的分辨率是指以点或线单色光源入射时，在像面上按照瑞利准则可分辨的最小光谱范围。在实际检测中没有这种光源，总是带有一定的尺寸大小和光谱带宽，因此应考虑它们对分辨率的影响。检测系统的光源采用标准汞灯，检测波段为200~1000nm。汞灯出光用光纤耦合，用聚光透镜将光斑聚焦在狭缝中心上，以近似点光源发散球面波入射到凹面光栅表面。必须注意的是入射光经光栅衍射的特征谱线事实上有一定的带宽；狭缝上的聚焦光点也有一定的尺寸大小；经过狭缝的入射球面波必须充满整个光栅表面，才能正确检测出光栅的光谱分辨本领 。

1、光源带宽对分辨率检测的影响

2、狭缝宽度对光栅分辨率检测的影响

3、CCD探测器对光栅分辨率检测的影响