关于电子探针X射线显微分析仪的俄歇电子介绍
入射电子与样品相互作用后，元素原子内层轨道的电子轰击出来成为自由电子或二次电子，而留下空位，从而原子不稳定。则外层高能电子填充空位，释放出能量，释放的能量一方
面以辐射特征X射线的方式释放，另一方面释放的能量被该原子吸收，从而从另一轨道上轰击出电子，该电子为俄歇电子。俄歇电子发生的几率随原子序数的减少而增加，能量较低，逸出深度~10 A。俄歇电子的能量对于各元素是特征的。可用来分析样品表面的成分，适合轻元素和超轻元素分析。
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入射电子与样品相互作用后，元素原子内层轨道的电子轰击出来成为自由电子或二次电子，而留下空位，从而原子不稳定。则外层高能电子填充空位，释放出能量，释放的能量一方
面以辐射特征X射线的方式释放，另一方面释放的能量被该原子吸收，从而从另一轨道上轰击出电子，该电子为俄歇电子。俄歇电子发生的几率随原子序数的减少而增加，能量较低，逸出深度~10 A。俄歇电子的能量对于各元素是特征的。可用来分析样品表面的成分，适合轻元素和超轻元素分析。
