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物理气相沉积法与化学气相沉积法有何区别

2022.2.10

物理气相沉积法可以看作是物理过程,实现物质的转移,最终沉积到靶材上面。
化学气相沉积法是在一定条件下通过化学反应,形成所需物质沉积在靶材或者基材表面。

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