（1）检查废液容器内的废液是否已满 ,如已满，请先清空废液。 确保废液容器所处的位置低于仪器所在的平面。

　　（2）请 检查真空泵是否可以顺利地把废液排出 ,确保废液管道没有被折弯，压扁或堵塞。

　　（3） 检查与真空泵和真空室相连的管道是否有漏气或堵塞。 应确保液路中无堵塞或漏气的情况。

　　（4） 请检查真空室与主板之间的管道 , 确保连接完好 ,通畅。

　　（5）检查真空泵是否正常工作，真空室的气密性是否良好 .必要时可用酒精冲洗真空泵，如仍不行，用新的真空泵替换。

　　（6）通过“系统服务/阀测试”检查 7,17,5,6,2,10 号阀是否工作正常，同时可用替换的方式来确定问题的所在。

　　（7）检 查主板是否完好 ,测试 TP3 和 TP4 两点的电压是否正常， 真空传感器为单接头则 TP3,TP4 两点参考电压分别是+6V 和 -7.5V,若为双接头则两点电压相反。 若两测试点电压正确请调节 VR403 观察真空是否有变化， 若无变化则说明主板部件出现问题，请更换一块好的主板进行确认。