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X射线镀层测厚仪对电镀层厚度检测

2020.5.07

电镀镀层行业中，电镀镀层厚度是产品的zui重要质量指标， X射线镀层测厚仪是检测电镀层厚度必备仪器。X射线镀层测厚仪作为一种测量镀层厚度的精密仪器，在整个电镀层厚度品质检测中占非常重要的地位。它在电镀层厚度控制,品质是否达到要求,镀层是否符合客户要求及成本控制方面,X射线镀层测厚仪均可完成。对于现代电镀加工来来说，非接触式X射线测厚仪作为一种常用的精密测量仪器，以其高精度和可靠性广泛应用于电镀行业镀层检测中

X射线镀层测厚仪系统组成及工作原理

X射线测厚仪、X射光管、检测器、准直器、自动台面控制、雷射对焦系统、软件系统、计算机控制组成。

X射线由源中高压光管产生X射线(人工源,断电自动停止)，X射线管有两个电极：作为阴极的用于发射电子的灯丝（钨丝）和作为阳极的用于接受电子轰击的靶（又称对阴极）。当灯丝通电被加热到高温时，大量的热电子产生，在极间的高压作用下被加速，高速轰击到靶面上，由于运动受阻，动能转化为辐射能，以X射线形式放出。

X射线可以由高压管中的准直器接受并经过前置放大器将X射线强度送到检测产品中。由于X射线穿透物质后的强度衰减与在物质中经过的距离成正比，所以在物质元素成分一定密度已知的情况下，可以通过接受的X射线强度来测出被测物质的厚度。

X射线的吸收关系式为：

IX=I0e-ux（1）

其中：IX为辐射强度；I0为X射线源发射的辐射强度；U为线衰减系数；X为测量材料厚度。

3．X射线测厚仪吸收曲线及合金补偿

根据X射线的吸收关系式， X射线镀层测厚仪即可利用已确定元素成分和密度的标准标样在计算机控制系统中建立标准吸收曲线。如图3所示，建立标准吸收曲线的标准标样必须具有完全相同的元素成分和密度，同时具有一系列的覆盖测厚仪工作范围的厚度。在标准吸收曲线建立后，检测同样元素成分和密度的内置基准标样，将该值作为检验校准测厚仪精度的基准保存在控制系统中。

在测厚仪下的测量偏差，红色曲线为补偿后的测量偏差。原始数据及补偿后数据如表1所示，经过补偿后，偏差在0.2%以内，满足产品测量精度要求。

4 X射线测厚仪的精度检验及厚度控制

X射线测厚仪作为在线测量厚度的精密仪器，为了保证其测量精度和可靠性，需要定期对其精度进行检验和校准。精度检验分为静态和动态两种。

静态检验是用已知厚度的试样放在测厚仪下进行测量，根据测量结果确定X射线测厚仪的状态。检验前，要确定试样状态完好，厚度均匀，没有变形和弯曲，测量位置以减少测量误差。测厚仪显示厚度平稳的一段产品，根据要求裁取一定数量规格的试样，

韩国Micro Pioneer(先锋)X射线镀层测厚仪

XRF-2000镀层测厚仪共分三种型号

不同型号各种功能一样

机箱容纳样品大小有以下不同要求

XRF-2000镀层测厚仪型号介绍

XRF-2000镀层测厚仪H型:测量样品高度不超过10cm

XRF-2000电镀测厚仪L型:测量样品高度不超过3cm

XRF-2000电镀膜厚仪PCB型:测量样品高度不超3cm(开放式设计,可检测大型样品

韩国先锋XRF-2000镀层测厚仪

检测电子及五金电镀,化学电镀层厚度

主要检测:镀金,镀银,镀镍,镀铜,镀锌,镀锡,及各种合金镀层等

韩国XRF2000镀层测厚仪

全自动台面
自动雷射对焦
多点自动测量 (方便操作人员准确快捷检测样品）
测量样品高度不超过3cm(亦有10CM可选)
镀层厚度测试范围：0.03－35um

可测试单层，双层，多层及合金镀层厚度
(单层:如各种底材上镀镍,镀锌,镀铜,镀银,镀锡,镀金等)
(双层:如铜上镀镍再镀金,铜上镀镍再银,铁上镀铜再镀镍等)
多层:如ABS上镀铜镀镍再镀铬,铁上镀铜镀镍,再镀金等)
合金镀层:如铁上镀锡铜等
测量时间：10－30秒
精度控制：
      *层：±5%以内
      第二层：±8%以内
      第三层：±12%以内