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电子轰击型离子源的结构特点介绍

2022.9.29

  电子由直热式阴极F(或F)发射,在电离室A(阳极)和阴极F或F之间施加直流电位,使电子得到加速,进入电离室中,碰撞气体使气体分子电离。在电离室A和聚焦极B之间所加电位作用下,离子加速离开电离室,通过聚焦扳后在减速间隙所加电位作用下,离子减速、聚焦到达离子源出口孔。这个简单离子源既无单独的离子推斥极和偏转极,也无电子接收板和栅极,但加有电子束聚焦磁铁和可自动切换的双灯丝(一个灯丝工作,另一备用灯丝与电离室相接),这种离子源的灵敏度与灯丝发射效率、灯丝和电离室小孔的准直度、电离电压(也称电子加速电压,加于电离室和灯丝之间。电离室为正,灯丝为负)、离子加速电压(电离室相对于地的正电压,即离子能量)以及三电极引出聚焦系统的性能都有关系,还与电子束聚焦磁铁有关。

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