非晶半导体的产品分类
非晶半导体可按H.Fritzsche将非晶半导体分为三大类:
1、共价非晶固体
(1)四配位非晶薄膜
Si,Ge,SiC,InSb,GaAs,GaSb…
(2)四配位玻璃
CdGen,As2,CdSixP2,ZnSixP2,CdSnxAs2…
(3)孤对半导体
a、元素和化合物:Se,S,Te,As2Se3,As2S3
b、交叉链网络:Ge-Sb-Se ,Si-Ge-As-Te,Ge-As-Se, As2Se3-As2Te,As-Se-Te ,Tl2Se-As2Te3
(4)其它:B,As,(Cu1-xAux)Te2…
2、半导体氧化物玻璃
V2O5-P2O5,V2O5-P2O5-BaO,V2O5-GeO2-BaO,
V2O5-PbO-Fe2O3,MnO-Al2O3-SiO2,CoO-Al2O3-SiO2,
FeO-Al2O3-SiO2,TiO2-B2O3-BaO...
3、介质膜
SiOx,Al2O3,ZrO3,Ta2O3,Si3N,BN…
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