X射线荧光光谱仪是一种常用的光谱仪产品，可以是固体、粉末、熔融片，液体等，分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业样品。

X射线荧光光谱仪具有灵明度强、度高、检测范围广、自动快速等特点，广泛应用于地质、冶金、有色金属加工、建材、考古等领域，在主、次量和痕量元素分析中发挥的作用日趋重要，特别是在无损分析和原位分析方面具有不可替代的作用。X 射线荧光光谱仪有波长色散型（WDXRF）和能量色散型（EDXRF）两种基本类型。

X 射线管产生X 射线（一次X射线），激发被测样品。使样品所含的每种元素放射出二次X射线；不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的波长特性。二次X射线经过分光晶体，变成单一波长的谱线，探测器测量这些谱线的数量。然后，分析软件通过探测系统收集到的信息，对被测样品进行定性和定量分析，转换成样品中各种元素的种类及含量。利用X 射线荧光分析原理，理论上可测量元素周期表中的每一种元素。

X射线荧光光谱分析的一般步骤是：选择分析方法，样品制备，仪器参数选择与校准曲线的制作，试样分析。