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气体放电真空计的特征用途

2021.6.25

  Penning真空计测量性能稳定,可测量高真空领域的电流。因为是冷阴极方式,不必担心电极的烧损问题。缺点是放电稳定性有一定不足。另外从阴极放出的电子量受表面污染影响严重。

  根据以上特点,此真空计适合不想频繁更换真空计的高真空领域设备上,同时因为此真空计本身有较强的磁场,要考虑其安装在设备上的位置。

  让真空中的残留气体电离,通过测量电离生成的离子或电子的电流而得出气体的压力,这种真空计被称为电离真空计。电离真空计让有几十eV的电子碰撞气体分子使其电离。电子的产生方式有两种:一种是加热金属丝放出热电子(热阴极),另一种方式是利用等离子体(冷阴极)。Penning真空计是冷阴极电离真空计的一种。

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