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选择和安装真空计应注意事项

2021.6.25

  由于真空室中存在潜在的压力梯度,适当选择安装位置。

  表面和密封材料呈现脱气现象。因此真空计可指示的压力 高于真空室压力。连接法兰因此应该尽可能的短,且密封 件数量减少到最小。

  电离真空计可以具有抽运效应,因此指示的压力低于真空 室中的实际压力。

  冷阴极真空计具有固有的溅射效应,这在中真空范围内与 重型气体(如氩)一起操作时尤为明显。这可导致不一致 和不准确的读数。

  当烃类存在时,电离真空计受到有机分子分解产物的污 染。如同溅射效应一样,读数可以被歪曲或不一致。

  必须选择电离真空计的开关点,以避免因上述现象导致的 污染。

  强磁场和电场会影响真空计的功能。这尤其适用于电离真 空计。

  为能够产生超高真空,必须对真空设备,包括真空计进行 烘烤。必须遵守技术数据中规定的最大烘烤温度和条件。

  如果受到污染,冷阴极真空计可以很容易地拆卸和清洗。使 用其他测量原理的,通常可以更换传感器。

  应该谨记,真空 计会受到一定程度的磨损和污染,因此每隔一段时间就需要 更换。由于操作条件范围广泛,因此不可能提供更换间隔的 通用建议。

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