白光干涉仪干涉环不圆正故障分析
干涉环不圆正
原 因:
(1)分光板膜层面反向。
(2)两组出射光瞳错位。
(3)分光板、补偿板、移动镜及参考镜有压应力。
检修方法:分光板膜层应是入射光的第二面,如装在第一面,则调出的等倾干圆涉环是直的椭圆形干涉环,可旋松分光板的三只宽头螺钉,取出分光 板,反过180°重新装入金属框内,把三只宽头螺钉旋到原来的压紧力。分光板调整请参考故障检修方法。分光板,补偿板的宽头螺钉,移动镜及参考镜的调节滚花螺钉压紧 力过大,使各镜片逐步变形产生等倾干涉圆环不规则,适当放松过紧的 螺钉即可消除。
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