如何探测电子？
如何探测电子？
上文所提到的两种电子分别由不同种类的探测器探测。探测 BSE 时，固态探测器位于样品正上方，并环绕电子束分布，这样可以收集到zui大量的 BSE。另一方面，探测 SE 时，主要是用 E-T 探测器。它有一个内置于法拉第圆筒的闪烁体，圆筒带正电可以吸引 SE。闪烁体用以加速电子，并把它们转换为光子。之后，这些光子会进入光电倍增管，并得到进一步放大。SE 探测器以一定倾角放置于电子腔室的侧面，这样可以提高 SE 的探测效率。这些 SE 可以用来生成样品的 3D 图像，并展示在电脑的显示器上。
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