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化学刻蚀结合激光熔融抛光法加工熔石英元件(2)
2020-11-10 15:43
图1.(a)激光抛光光路示意图;(b)复合工艺过程中样品表面形貌变化
图2.不同工艺处理下的熔石英元件。(a)表面损伤概率;(b)污染元素深度分布
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