SAED 与 TEM 联合分析的优点
SAED 与 TEM 联合分析的优点
在纳米材料研究中，有时需要获得包括试样形
貌、成分、晶体结构、晶相组成在内的丰富资料，以便
能够全面、客观地进行判断分析． 单纯的 TEM 只能
获得选定区域样品的二维图像信息
［6 －7］ ，而采用
TEM 和 SEAD 联合分析，具备以下优点．
(1) 可以实现微区物相和晶面结构的同时分
析． 通过 TEM 拍摄所获得的高倍率微区图像，结合
SAED 所获得的图谱信息，不但可以观测微区材料
形貌信息，而且可以确定该区域的晶面结构、晶相组
成，从而实现多角度获取分析样品的细节信息，增加
了样品分析的可靠性． 图 1 为典型的单晶、多晶和非
晶的 SAED 图像
［8 －9］ ．
(2) 微区定点分析准确． 在 TEM 检测的同时进
行 SAED 分析，可以避免采用其它方法表征时对样
品二次移动所带来的干扰，也消除了再次寻找这一
观测点的不准确性．
(3) 缩短分析时间，降低分析成本，简化分析步
骤． 对样品同时进行 TEM 和 SAED 分析，避免了样
品的再处理过程，使样品的分析步骤得以简化，有效
的缩短了分析时间，降低了分析成本，同时提高了样
品分析效率．
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