成分分析
成分分析按照分析对象和要求可以分为 微量样品分析 和 痕量成分分析 两种类型。 按照分析的目的不同，又分为体相元素成分分析、表面成分分析和微区成分分析等方法。
体相元素成分分析是指体相元素组成及其杂质成分的分析，其方法包括原子吸收、原子发射ICP、质谱以及X射线荧光与X射线衍射分析方法；其中前三种分析方法需要对样品进行溶解后再进行测定，因此属于破坏性样品分析方法；而X射线荧光与衍射分析方法可以直接对固体样品进行测定因此又称为非破坏性元素分析方法。
表面与微区成份分析
X射线光电子能谱（X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS）；（10纳米，表面）
俄歇电子能谱（Auger electron spectroscopy，AES）；（6nm，表面）
二次离子质谱（Secondary Ion Mass Spectrometry, SIMS）；（微米，表面）
电子探针分析方法；（0.5微米，体相）
电镜的能谱分析；（1微米，体相）
电镜的电子能量损失谱分析；（0.5nm）
为达此目的，成分分析按照分析手段不同又分为光谱分析、质谱分析和能谱分析。
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