扫描探针显微镜(SPM)结构
1、探针:STM金属探针,AFM微悬臂、光电二极臂
2、机械控制系统:压电扫描器、粗调定位装置、振动隔离系统
3、电子学控制系统:电子学线路、接口,控制软件
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